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Secondary ion mass spectrometry with gas cluster ion beams

Toyoda, N. / Matsuo, J. / Aoki, T. / Yamada, I. / Fenner, D. B.

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Titel:

Secondary ion mass spectrometry with gas cluster ion beams

Beteiligte:

Toyoda, N. (Autor:in) / Matsuo, J. (Autor:in) / Aoki, T. (Autor:in) / Yamada, I. (Autor:in) / Fenner, D. B. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 214-218

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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