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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Microwave-CVD Diamond Protective Coating for 3D Structured Silicon Microsensors

    Beteiligte:

    Csorbai, H. (Autor:in) / Furjes, P. (Autor:in) / Hars, G. (Autor:in) / Ducso, C. (Autor:in) / Barsony, I. (Autor:in) / Kalman, E. (Autor:in) / Deak, P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 414/415 ; 69-74

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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