Influence of deposition parameters on the stress of magnetron sputter-deposited AIN thin films on Si(100) substrates: Fid-Bau Portal

Influence of deposition parameters on the stress of magnetron sputter-deposited AIN thin films on Si(100) substrates

Iriarte, G. F. / Engelmark, F. / Ottosson, M. / Katardjiev, I. V.

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Titel:

Influence of deposition parameters on the stress of magnetron sputter-deposited AIN thin films on Si(100) substrates

Beteiligte:

Iriarte, G. F. (Autor:in) / Engelmark, F. (Autor:in) / Ottosson, M. (Autor:in) / Katardjiev, I. V. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 18 ; 423-432

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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