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    Titel:

    Evaluation of Surfaces of Single SiC Crystal Polished with Various Kinds of Particles

    Beteiligte:

    Watanabe, J. (Autor:in) / Fujimoto, M. (Autor:in) / Matsumoto, Y. (Autor:in) / Kuroda, N. (Autor:in) / Eryu, O. (Autor:in) / Gao, Y. / Tamaki, J. / Kitajima, K.

    Erschienen in:

    Advances in Abrasive Technology V ; 175-182

    KEY ENGINEERING MATERIALS

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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