Properties of ZrO2 thin films prepared by laser ablation: Fid-Bau Portal

Properties of ZrO2 thin films prepared by laser ablation

Vrejoiu, I. / Matei, D. G. / Morar, M. / Epurescu, G. / Ferrari, A. / Balucani, M. / Lamedica, G. / Dinescu, G. / Grigoriu, C. / Dinescu, M.

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Vrejoiu, I. / Matei, D. G. / Morar, M. / Epurescu, G. / Ferrari, A. / Balucani, M. / Lamedica, G. / Dinescu, G. / Grigoriu, C. / Dinescu, M.

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Titel:

Properties of ZrO2 thin films prepared by laser ablation

Beteiligte:

Vrejoiu, I. (Autor:in) / Matei, D. G. (Autor:in) / Morar, M. (Autor:in) / Epurescu, G. (Autor:in) / Ferrari, A. (Autor:in) / Balucani, M. (Autor:in) / Lamedica, G. (Autor:in) / Dinescu, G. (Autor:in) / Grigoriu, C. (Autor:in) / Dinescu, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 5 ; 253-257

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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