Properties of zirconium silicate thin films prepared by laser ablation: Fid-Bau Portal

Properties of zirconium silicate thin films prepared by laser ablation

Filipescu, M. / Scarisoreanu, N. / Matei, D. G. / Dinescu, G. / Ferrari, A. / Balucani, M. / Toma, O. / Ghica, C. / Nistor, L. C. / Dinescu, M.

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Filipescu, M. / Scarisoreanu, N. / Matei, D. G. / Dinescu, G. / Ferrari, A. / Balucani, M. / Toma, O. / Ghica, C. / Nistor, L. C. / Dinescu, M.

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Titel:

Properties of zirconium silicate thin films prepared by laser ablation

Beteiligte:

Filipescu, M. (Autor:in) / Scarisoreanu, N. (Autor:in) / Matei, D. G. (Autor:in) / Dinescu, G. (Autor:in) / Ferrari, A. (Autor:in) / Balucani, M. (Autor:in) / Toma, O. (Autor:in) / Ghica, C. (Autor:in) / Nistor, L. C. (Autor:in) / Dinescu, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 7 ; 209-214

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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