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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Influence of laser fluence in ArF-excimer laser assisted crystallisation of a-SiGe:H films

    Beteiligte:

    Chiussi, S. (Autor:in) / Lopez, E. (Autor:in) / Serra, J. (Autor:in) / Gonzalez, P. (Autor:in) / Serra, C. (Autor:in) / Leon, B. (Autor:in) / Fabbri, F. (Autor:in) / Fornarini, L. (Autor:in) / Martelli, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 208/209 ; 358-363

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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