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Future roadblocks and solutions in silicon technology as outlined by the ITRS roadmap

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Titel:

Future roadblocks and solutions in silicon technology as outlined by the ITRS roadmap

Beteiligte:

Arden, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 5 ; 313-319

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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