Silicon melt convection in large size Czochralski crucibles: Fid-Bau Portal

Silicon melt convection in large size Czochralski crucibles

Virbulis, J. / Wetzel, T. / Tomzig, E. / von Ammon, W.

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Titel:

Silicon melt convection in large size Czochralski crucibles

Beteiligte:

Virbulis, J. (Autor:in) / Wetzel, T. (Autor:in) / Tomzig, E. (Autor:in) / von Ammon, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 5 ; 353-359

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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