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    Titel:

    Physical characterization of thin ALD-Al2O3 films

    Beteiligte:

    Jakschik, S. (Autor:in) / Schroeder, U. (Autor:in) / Hecht, T. (Autor:in) / Krueger, D. (Autor:in) / Dollinger, G. (Autor:in) / Bergmaier, A. (Autor:in) / Luhmann, C. (Autor:in) / Bartha, J. W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 211 ; 352-359

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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