Chemical vapour deposition of crystalline thin films of tantalum phosphide: Fid-Bau Portal

Chemical vapour deposition of crystalline thin films of tantalum phosphide

Blackman, C. S. / Carmalt, C. J. / Parkin, I. P. / O'Neill, S. A. / Molloy, K. C. / Apostolico, L.

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Titel:

Chemical vapour deposition of crystalline thin films of tantalum phosphide

Beteiligte:

Blackman, C. S. (Autor:in) / Carmalt, C. J. (Autor:in) / Parkin, I. P. (Autor:in) / O'Neill, S. A. (Autor:in) / Molloy, K. C. (Autor:in) / Apostolico, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 57 ; 2634-2636

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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