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Stress relaxation-induced phase transformation in chromium nitride films

Chen, H. Y. / Lu, F. H.

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Titel:

Stress relaxation-induced phase transformation in chromium nitride films

Beteiligte:

Chen, H. Y. (Autor:in) / Lu, F. H. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 22 ; 817-819

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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