Crystallization-induced stress in tungsten nitride thin films: Fid-Bau Portal

Crystallization-induced stress in tungsten nitride thin films

Shen, Y. G. / Mai, Y. W.

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Titel:

Crystallization-induced stress in tungsten nitride thin films

Beteiligte:

Shen, Y. G. (Autor:in) / Mai, Y. W. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 19 ; 1941-1944

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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