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    Titel:

    An investigation of sidewall adhesion in MEMS

    Beteiligte:

    Robert Ashurst, W. (Autor:in) / de Boer, M. P. (Autor:in) / Carraro, C. (Autor:in) / Maboudian, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 212-213 ; 735-741

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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