Piezoelectric and ferroelectric films for microelectronic applications: Fid-Bau Portal

Piezoelectric and ferroelectric films for microelectronic applications

Ren, T. L. / Zhao, H. J. / Liu, L. T. / Li, Z. J.

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Titel:

Piezoelectric and ferroelectric films for microelectronic applications

Beteiligte:

Ren, T. L. (Autor:in) / Zhao, H. J. (Autor:in) / Liu, L. T. (Autor:in) / Li, Z. J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 99 ; 159-163

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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