Systematic theoretical investigations of miscibility in Si1-x-yGexCy thin films: Fid-Bau Portal

Systematic theoretical investigations of miscibility in Si1-x-yGexCy thin films

Ito, T. / Nakamura, K. / Kangawa, Y. / Shiraishi, K. / Taguchi, A. / Kageshima, H.

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Titel:

Systematic theoretical investigations of miscibility in Si1-x-yGexCy thin films

Beteiligte:

Ito, T. (Autor:in) / Nakamura, K. (Autor:in) / Kangawa, Y. (Autor:in) / Shiraishi, K. (Autor:in) / Taguchi, A. (Autor:in) / Kageshima, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 216 ; 458-462

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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