Study on solid-phase reactions in Ti/p+-Si1-x-yGexCy/Si(100) contacts: Fid-Bau Portal

Study on solid-phase reactions in Ti/p+-Si1-x-yGexCy/Si(100) contacts

Tobioka, A. / Tsuchiya, Y. / Ikeda, H. / Sakai, A. / Zaima, S. / Murota, J. / Yasuda, Y.

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Titel:

Study on solid-phase reactions in Ti/p+-Si1-x-yGexCy/Si(100) contacts

Beteiligte:

Tobioka, A. (Autor:in) / Tsuchiya, Y. (Autor:in) / Ikeda, H. (Autor:in) / Sakai, A. (Autor:in) / Zaima, S. (Autor:in) / Murota, J. (Autor:in) / Yasuda, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 89 ; 373 - 377

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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