Improved surface morphology of sulfur-doped homoepitaxial diamond films by plasma CVD method with SF6 Grading-Doping profile: Fid-Bau Portal

Improved surface morphology of sulfur-doped homoepitaxial diamond films by plasma CVD method with SF6 Grading-Doping profile

Fujii, S. / Hino, S. / Kobayashi, T.

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Titel:

Improved surface morphology of sulfur-doped homoepitaxial diamond films by plasma CVD method with SF6 Grading-Doping profile

Beteiligte:

Fujii, S. (Autor:in) / Hino, S. (Autor:in) / Kobayashi, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 216 ; 596-602

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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