Electrical and Optical Study of 4H-SiC CVD Epitaxial Layers Irradiated with Swift Heavy Ions: Fid-Bau Portal

Electrical and Optical Study of 4H-SiC CVD Epitaxial Layers Irradiated with Swift Heavy Ions

Kalinina, E. / Kholujanov, G. / Onushkin, G. / Davydov, D. / Strel chuk, A. / Zubrilov, A. / Hallen, A. / Konstantinov, A. / Skuratov, V. / Stano, J.

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Kalinina, E. / Kholujanov, G. / Onushkin, G. / Davydov, D. / Strel chuk, A. / Zubrilov, A. / Hallen, A. / Konstantinov, A. / Skuratov, V. / Stano, J.

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Titel:

Electrical and Optical Study of 4H-SiC CVD Epitaxial Layers Irradiated with Swift Heavy Ions

Beteiligte:

Kalinina, E. (Autor:in) / Kholujanov, G. (Autor:in) / Onushkin, G. (Autor:in) / Davydov, D. (Autor:in) / Strel chuk, A. (Autor:in) / Zubrilov, A. (Autor:in) / Hallen, A. (Autor:in) / Konstantinov, A. (Autor:in) / Skuratov, V. (Autor:in) / Stano, J. (Autor:in)

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2002 ; 467-470

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 433/436

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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