Modelling the Formation of Nano-Sized SiC on Si: Fid-Bau Portal

Modelling the Formation of Nano-Sized SiC on Si

Safonov, K. L. / Schmidt, A. A. / Trushin, Y. V. / Kulikov, D. V. / Cimalla, V. / Pezoldt, J.

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Titel:

Modelling the Formation of Nano-Sized SiC on Si

Beteiligte:

Safonov, K. L. (Autor:in) / Schmidt, A. A. (Autor:in) / Trushin, Y. V. (Autor:in) / Kulikov, D. V. (Autor:in) / Cimalla, V. (Autor:in) / Pezoldt, J. (Autor:in) / Bergman, P. / Janzen, E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2002 ; 591-594

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 433/436

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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