Dielectric properties of AlN thin films formed by ion beam enhanced deposition: Fid-Bau Portal

Dielectric properties of AlN thin films formed by ion beam enhanced deposition

Song, Z. R. / Yu, Y. H. / Shen, D. S. / Zou, S. C. / Zheng, Z. H. / Luo, E. Z. / Xie, Z.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dielectric properties of AlN thin films formed by ion beam enhanced deposition

Song, Z. R. / Yu, Y. H. / Shen, D. S. / Zou, S. C. / Zheng, Z. H. / Luo, E. Z. / Xie, Z.

Dielectric properties of AlN thin films formed by ion beam enhanced deposition

Song, Z. R. / Yu, Y. H. / Shen, D. S. / Zou, S. C. / Zheng, Z. H. / Luo, E. Z. / Xie, Z.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Dielectric properties of AlN thin films formed by ion beam enhanced deposition

Beteiligte:

Song, Z. R. (Autor:in) / Yu, Y. H. (Autor:in) / Shen, D. S. (Autor:in) / Zou, S. C. (Autor:in) / Zheng, Z. H. (Autor:in) / Luo, E. Z. (Autor:in) / Xie, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 57 ; 4643-4647

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

Ma, T. P. | British Library Online Contents | 1997

Enhanced dielectric properties of Mn doped Ba0.6Sr0.4TiO3 thin films fabricated by pulsed laser deposition

Zhu, X. H. / Zheng, D. N. / Peng, W. et al. | British Library Online Contents | 2006

Microstructure of TiN films and interfaces formed by ion-beam-enhanced deposition and simple physical vapor deposition

Cheng, Z. Y. et al. | British Library Online Contents | 1995

Charge injection properties of iridium films formed by ion beam assisted deposition

Lee, I. S. / Buchanan, R. A. / Lee, Y. H. | British Library Online Contents | 2002

Structural and magnetic studies of thin Fe57 films formed by ion beam assisted deposition

Lyadov, N. M. / Bazarov, V. V. / Vagizov, F. G. et al. | British Library Online Contents | 2016

Nach oben