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Thick High-Purity Silicon Coatings

Gunda, N. / Cooke, R. / Jha, S. K. / Sastri, S. A.

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Titel:

Thick High-Purity Silicon Coatings

Beteiligte:

Gunda, N. (Autor:in) / Cooke, R. (Autor:in) / Jha, S. K. (Autor:in) / Sastri, S. A. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS AND PROCESSES ; 161 ; 49-50

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

2 pages

ISSN:

0882-7958

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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