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HIGH PURITY SILICON CARBIDE PRODUCT MANUFACTURING METHOD
본 발명은, (a) 탄화규소 (SiC) 소결체를 제작하는 단계; (b) 상기 탄화규소 소결체 상에 탄소원 (Carbon Source)을 코팅하는 단계; (c) 상기 코팅된 탄소원을 열처리하여 상기 탄소원 내의 탄소와 상기 탄화규소 소결체 내의 잔류 규소 (Si)를 반응시켜, 상기 탄화규소 소결체 상에 탄화규소 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 탄화규소 제품 제조 방법에 관한 것이다. 이에 의해, 탄화규소 소결체의 형상에 구해받지 않고 탄화규소 코팅이 가능하며, 저가의 재료로 고순도 탄화규소 코팅이 가능하다.
HIGH PURITY SILICON CARBIDE PRODUCT MANUFACTURING METHOD
본 발명은, (a) 탄화규소 (SiC) 소결체를 제작하는 단계; (b) 상기 탄화규소 소결체 상에 탄소원 (Carbon Source)을 코팅하는 단계; (c) 상기 코팅된 탄소원을 열처리하여 상기 탄소원 내의 탄소와 상기 탄화규소 소결체 내의 잔류 규소 (Si)를 반응시켜, 상기 탄화규소 소결체 상에 탄화규소 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 탄화규소 제품 제조 방법에 관한 것이다. 이에 의해, 탄화규소 소결체의 형상에 구해받지 않고 탄화규소 코팅이 가능하며, 저가의 재료로 고순도 탄화규소 코팅이 가능하다.
HIGH PURITY SILICON CARBIDE MANUFACTURING METHOD AND SYSTEM
Europäisches Patentamt | 2016
Method for Manufacturing High-purity Silicon Carbide Nanopowder
Europäisches Patentamt | 2023
|High-purity silicon carbide product and preparation method thereof
Europäisches Patentamt | 2024
|High-purity high-density silicon carbide ceramic and manufacturing method thereof
Europäisches Patentamt | 2021
|Manufacturing method of silicon carbide product and silicon carbide product
Europäisches Patentamt | 2024
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