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A nanometer scale surface morphology study of W thin films

Maille, L. / Sant, C. / Garnier, P.

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Titel:

A nanometer scale surface morphology study of W thin films

Beteiligte:

Maille, L. (Autor:in) / Sant, C. (Autor:in) / Garnier, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -AMSTERDAM THEN LAUSANNE- C ; 23 ; 913-918

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0928-4931

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 660

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