Implantation angle dependence of ion irradiation damage in GaN: Fid-Bau Portal

Implantation angle dependence of ion irradiation damage in GaN

Nord, J. / Nordlund, K. / Pipeleers, B. / Vantomme, A.

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Titel:

Implantation angle dependence of ion irradiation damage in GaN

Beteiligte:

Nord, J. (Autor:in) / Nordlund, K. (Autor:in) / Pipeleers, B. (Autor:in) / Vantomme, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 105 ; 110-112

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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