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Chemical Modification of Titanium Nitride Films via Ion Implantation

Aizawa, T. / Mitsuo, A. / Akhadejdamrong, T.

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Titel:

Chemical Modification of Titanium Nitride Films via Ion Implantation

Beteiligte:

Aizawa, T. (Autor:in) / Mitsuo, A. (Autor:in) / Akhadejdamrong, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 44 ; 1962-1970

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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