Thermal decomposition of dimethylaluminum isopropoxide on Si(1 0 0): Fid-Bau Portal

Thermal decomposition of dimethylaluminum isopropoxide on Si(1 0 0)

Lee, S. Y. / Luo, B. / Sun, Y. / White, J. M. / Kim, Y.

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Titel:

Thermal decomposition of dimethylaluminum isopropoxide on Si(1 0 0)

Beteiligte:

Lee, S. Y. (Autor:in) / Luo, B. (Autor:in) / Sun, Y. (Autor:in) / White, J. M. (Autor:in) / Kim, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 222 ; 234-242

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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