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Room temperature growth of zinc oxide films on Si substrates by the RF magnetron sputtering

Kim, N. H. / Kim, H. W.

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Titel:

Room temperature growth of zinc oxide films on Si substrates by the RF magnetron sputtering

Beteiligte:

Kim, N. H. (Autor:in) / Kim, H. W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 58 ; 938-943

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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