Porosity in Silicon and Silica Thin Films Monitored by Positrons and Positronium: Fid-Bau Portal

Porosity in Silicon and Silica Thin Films Monitored by Positrons and Positronium

Van Veen, A. / Galindo, R. E. / Eijt, S. W. H. / Schut, H. / van Gog, H. / Balkenende, A. R. / De Theije, F. K.

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Titel:

Porosity in Silicon and Silica Thin Films Monitored by Positrons and Positronium

Beteiligte:

Van Veen, A. (Autor:in) / Galindo, R. E. (Autor:in) / Eijt, S. W. H. (Autor:in) / Schut, H. (Autor:in) / van Gog, H. (Autor:in) / Balkenende, A. R. (Autor:in) / De Theije, F. K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 445/446 ; 254-258

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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