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    Titel:

    Comparison of Tensile and Bulge Tests for Thin-Film Silicon Nitride

    Beteiligte:

    Edwards, R. L. (Autor:in) / Coles, G. (Autor:in) / Sharpe, W. N. (Autor:in)

    Erschienen in:

    EXPERIMENTAL MECHANICS ; 44 ; 49-54

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0014-4851

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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