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Controlling preferred orientation of ZnO thin films by atomic layer deposition

Ko Park, S. H. / Lee, Y. E.

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Titel:

Controlling preferred orientation of ZnO thin films by atomic layer deposition

Beteiligte:

Ko Park, S. H. (Autor:in) / Lee, Y. E. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 39 ; 2195-2197

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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