Atomic layer deposition of PbZrO3 thin films: Fid-Bau Portal

Atomic layer deposition of PbZrO3 thin films

Harjuoja, J. / Vayrynen, S. / Putkonen, M. / Niinisto, L. / Rauhala, E.

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Titel:

Atomic layer deposition of PbZrO3 thin films

Beteiligte:

Harjuoja, J. (Autor:in) / Vayrynen, S. (Autor:in) / Putkonen, M. (Autor:in) / Niinisto, L. (Autor:in) / Rauhala, E. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 5228-5232

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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