Surface morphology studies of sub-ps pulsed-laser-deposited AlN thin films: Fid-Bau Portal

Surface morphology studies of sub-ps pulsed-laser-deposited AlN thin films

Gyorgy, E. / Teodorescu, V. S. / Mihailescu, I. N. / Klini, A. / Zorba, V. / Manousaki, A. / Fotakis, C.

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Titel:

Surface morphology studies of sub-ps pulsed-laser-deposited AlN thin films

Beteiligte:

Gyorgy, E. (Autor:in) / Teodorescu, V. S. (Autor:in) / Mihailescu, I. N. (Autor:in) / Klini, A. (Autor:in) / Zorba, V. (Autor:in) / Manousaki, A. (Autor:in) / Fotakis, C. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 19 ; 820-826

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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