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Surface morphology of pulsed-laser deposited aluminium nitride thin films

Kotula, P. G. / Carter, C. B. / Norton, M. G.

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Titel:

Surface morphology of pulsed-laser deposited aluminium nitride thin films

Beteiligte:

Kotula, P. G. (Autor:in) / Carter, C. B. (Autor:in) / Norton, M. G. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 13 ; 1275

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

1275 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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