Silicalite-1/polymer films with low-k dielectric constants: Fid-Bau Portal

Silicalite-1/polymer films with low-k dielectric constants

Larlus, O. / Mintova, S. / Valtchev, V. / Jean, B. / Metzger, T. H. / Bein, T.

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Titel:

Silicalite-1/polymer films with low-k dielectric constants

Beteiligte:

Larlus, O. (Autor:in) / Mintova, S. (Autor:in) / Valtchev, V. (Autor:in) / Jean, B. (Autor:in) / Metzger, T. H. (Autor:in) / Bein, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 226 ; 155-160

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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