Characterization of diamond-like carbon (DLC) films deposited by a magnetron-sputter-type negative ion source (MSNIS): Fid-Bau Portal

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Titel:

Characterization of diamond-like carbon (DLC) films deposited by a magnetron-sputter-type negative ion source (MSNIS)

Beteiligte:

Paik, N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 226 ; 412-421

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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