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    Titel:

    Low Sheet Resistance of High-Dose Aluminium Implanted 4H-SiC using (1120) Face

    Beteiligte:

    Negoro, Y. (Autor:in) / Katsumoto, K. (Autor:in) / Kimoto, T. (Autor:in) / Matsunami, H. (Autor:in) / Schmid, F. (Autor:in) / Pensl, G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 913-916

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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