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    Titel:

    Photoluminescence Mapping of a SiC Wafer in Device Processing

    Beteiligte:

    Tajima, M. (Autor:in) / Sugahara, T. (Autor:in) / Hoshino, N. (Autor:in) / Tanimoto, S. (Autor:in) / Takahashi, T. (Autor:in) / Nakashima, S. (Autor:in) / Yamamoto, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 569-572

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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