Crystal Quality Evaluation of 6H-SiC Layers Grown by Liquid Phase Epitaxy around Micropipes using Micro-Raman Scattering Spectroscopy: Fid-Bau Portal

Crystal Quality Evaluation of 6H-SiC Layers Grown by Liquid Phase Epitaxy around Micropipes using Micro-Raman Scattering Spectroscopy

Ujihara, T. / Munetoh, S. / Kusunoki, K. / Kamei, K. / Usami, N. / Fujiwara, K. / Sazaki, G. / Nakajima, K.

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Titel:

Crystal Quality Evaluation of 6H-SiC Layers Grown by Liquid Phase Epitaxy around Micropipes using Micro-Raman Scattering Spectroscopy

Beteiligte:

Ujihara, T. (Autor:in) / Munetoh, S. (Autor:in) / Kusunoki, K. (Autor:in) / Kamei, K. (Autor:in) / Usami, N. (Autor:in) / Fujiwara, K. (Autor:in) / Sazaki, G. (Autor:in) / Nakajima, K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 633-636

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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