A TiNiPd thin film microvalve for high temperature applications: Fid-Bau Portal

A TiNiPd thin film microvalve for high temperature applications

Liu, Y. / Kohl, M. / Okutsu, K. / Miyazaki, S.

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Titel:

A TiNiPd thin film microvalve for high temperature applications

Beteiligte:

Liu, Y. (Autor:in) / Kohl, M. (Autor:in) / Okutsu, K. (Autor:in) / Miyazaki, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A ; 378 ; 205-209

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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