Preparation and properties of clean Si3N4 surfaces: Fid-Bau Portal

Preparation and properties of clean Si3N4 surfaces

Bermudez, V. M. / Perkins, F. K.

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Titel:

Preparation and properties of clean Si3N4 surfaces

Beteiligte:

Bermudez, V. M. (Autor:in) / Perkins, F. K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 235 ; 406-419

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

14 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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