Diagnosis and Reduction of Robot Arm Vibration for 12-Inch Wafer Spin Scrubber: Fid-Bau Portal

Diagnosis and Reduction of Robot Arm Vibration for 12-Inch Wafer Spin Scrubber

Kim, N. / Hong, M.

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Titel:

Diagnosis and Reduction of Robot Arm Vibration for 12-Inch Wafer Spin Scrubber

Beteiligte:

Kim, N. (Autor:in) / Hong, M. (Autor:in) / Lee, S.-S. / Yoon, D.-J. / Lee, J.-H. / Lee, S.

Erschienen in:

Advances in Nondestructive Evaluation Part 1 Proceedings of the 11^t^h Asian Pacific Conference on Nondestructive Testing, Jeju Island, Korea, 3-7 November 2003 ; 884-889

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 270/273

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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