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    Titel:

    Effects of tetraethoxysilane vapor treatment on the cetyltrimethylammonium bromide-templated silica mesoporous low-k thin film with 3D close-packed array of spherical pores

    Beteiligte:

    Han, C. K. (Autor:in) / Jung, S. B. (Autor:in) / Park, H. H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 237 ; 405-410

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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