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Erbium-doped thin amorphous carbon films prepared by mixed CVD sputtering

Speranza, G. / Calliari, L. / Ferrari, M. / Chiasera, A. / Tran Ngoc, K. / Baranov, A. M. / Sleptsov, V. V. / Nefedov, A. A. / Varfolomeev, A. E. / Fanchenko, S. S.

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Titel:

Erbium-doped thin amorphous carbon films prepared by mixed CVD sputtering

Beteiligte:

Speranza, G. (Autor:in) / Calliari, L. (Autor:in) / Ferrari, M. (Autor:in) / Chiasera, A. (Autor:in) / Tran Ngoc, K. (Autor:in) / Baranov, A. M. (Autor:in) / Sleptsov, V. V. (Autor:in) / Nefedov, A. A. (Autor:in) / Varfolomeev, A. E. (Autor:in) / Fanchenko, S. S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 238 ; 117-120

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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