Magnetron Sputtering Tantalum Film Technology for Titanium

Magnetron Sputtering Tantalum Film Technology for Titanium - Coated Anode

Pan, J.-y. / Sun, F.-m. / Luo, Q.-f.

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Titel:

Magnetron Sputtering Tantalum Film Technology for Titanium - Coated Anode

Beteiligte:

Pan, J.-y. (Autor:in) / Sun, F.-m. (Autor:in) / Luo, Q.-f. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS PROTECTION -WUHAN- ; 37 ; 26-28

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1001-1560

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.1

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