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    Titel:

    First investigation of metal-insulator-metal (MIM) capacitor using Pr2O3 dielectrics

    Beteiligte:

    Wenger, C. (Autor:in) / Dabrowski, J. (Autor:in) / Zaumseil, P. (Autor:in) / Sorge, R. (Autor:in) / Formanek, P. (Autor:in) / Lippert, G. (Autor:in) / Mussig, H. J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 7 ; 227-230

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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