Optimizing the formation of nickel silicide: Fid-Bau Portal

Optimizing the formation of nickel silicide

Foggiato, J. / Yoo, W. S. / Ouaknine, M. / Murakami, T. / Fukada, T.

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Titel:

Optimizing the formation of nickel silicide

Beteiligte:

Foggiato, J. (Autor:in) / Yoo, W. S. (Autor:in) / Ouaknine, M. (Autor:in) / Murakami, T. (Autor:in) / Fukada, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 56-60

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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