Thermal stability of nickel silicide on silicon on insulator (SOI) material: Fid-Bau Portal

Thermal stability of nickel silicide on silicon on insulator (SOI) material

Cafra, B. / Alberti, A. / Ottaviano, L. / Bongiorno, C. / Mannino, G. / Kammler, T. / Feudel, T.

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Titel:

Thermal stability of nickel silicide on silicon on insulator (SOI) material

Beteiligte:

Cafra, B. (Autor:in) / Alberti, A. (Autor:in) / Ottaviano, L. (Autor:in) / Bongiorno, C. (Autor:in) / Mannino, G. (Autor:in) / Kammler, T. (Autor:in) / Feudel, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 228-231

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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