Atomic layer deposition of tungsten disulphide solid lubricant thin films: Fid-Bau Portal

Atomic layer deposition of tungsten disulphide solid lubricant thin films

Scharf, T. W. / Prasad, S. V. / Mayer, T. M. / Goeke, R. S. / Dugger, M. T.

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Titel:

Atomic layer deposition of tungsten disulphide solid lubricant thin films

Beteiligte:

Scharf, T. W. (Autor:in) / Prasad, S. V. (Autor:in) / Mayer, T. M. (Autor:in) / Goeke, R. S. (Autor:in) / Dugger, M. T. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 19 ; 3443-3446

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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