Formation of array microstructures on silicon by multibeam interfered femtosecond laser pulses: Fid-Bau Portal

Formation of array microstructures on silicon by multibeam interfered femtosecond laser pulses

Zhao, Q. Z. / Qiu, J. R. / Zhao, C. J. / Jiang, X. W. / Zhu, C. S.

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Titel:

Formation of array microstructures on silicon by multibeam interfered femtosecond laser pulses

Beteiligte:

Zhao, Q. Z. (Autor:in) / Qiu, J. R. (Autor:in) / Zhao, C. J. (Autor:in) / Jiang, X. W. (Autor:in) / Zhu, C. S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 241 ; 416-419

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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